IMAGE WORKSPACE
等待图片截面图像
MEASUREMENT REPORT
逐周期测量 0
| 槽编号 | 槽口宽 | 槽底宽 | 顶部线宽 | 底部线宽 | 刻蚀深度 | 顶部高度 | 左角 / 右角 | 拟合 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 分析完成后，这里会显示每一个完整槽的测量结果。 | ||||||||
结果依据边缘拟合自动估计，支持调整基准线后重新测量。
FROM MICROSTRUCTURE TO MEASUREMENT
让每一道结构，有据可量。
上传 SEM 截面图片，自动识别周期结构，提取尺寸与侧壁角度。
01 上传图片—02 校准与识别—03 导出标注